حرکت عمودگرد

کاربردهای میکرواسکنرهای با حرکت عمودگرد (تیلت) بسیار زیاد است و عبارتند از:

ابعاد معمول تراشه ۴میلی‌متر×۵میلی‌متر، برای قطر آینه بین ۱ تا ۳میلی‌متر می‌باشد. دهانه‌های بزرگتر آینه با اندازه‌های جانبی تا حدود ۱۰میلی‌متر×۳میلی‌متر نیز قابل تولید است. فرکانس‌های اسکن به طراحی و اندازه آینه بستگی داشته و در بازه ۰٫۱ تا ۵۰ کیلوهرتز قرار دارد. حرکت منحرف کننده می‌تواند رزونانسی، یا شبه-استاتیک باشد. با میکرواسکنرهایی که قادر به حرکت عمودگرد هستند، می‌توان نور را روی یک صفحه نمایش هدایت کرد.

محرک‌های مغناطیسی، خطی سازی بسیار خوبی از زاویه انحراف در حرکت عمودگرد (تیلت) در مقابل دامنه سیگنال اعمال شده، هم در عملکرد استاتیکی و هم در عملکرد دینامیکیایجاد می‌کنند. اصول کار، این است که یک سیم پیچ فلزی روی آینه MEMS متحرک قرار گرفته و زمانی که آینه، در میدان مغناطیسی قرار می‌گیرد، جریان متناوب در سیم پیچ، نیروی لورنتس ایجاد می‌کند. این نیرو، آینه را زاویه‌دار وکرده و حرکت عمود گرد (تیلت) ایجاد می‌کند. از محرک مغناطیسی می‌توان برای فعال کردن آینه‌های MEMS یک بعدی یا دو بعدی استفاده کرد. یکی دیگر از ویژگی‌های آینه MEMS که به صورت مغناطیسی فعال می‌شود، نیاز آن به ولتاژ پایین است (زیر ۵ ولت) که باعث می‌شود این فعال سازی با ولتاژ استاندارد CMOS سازگار باشد. یکی از مزیت‌های این نوع فرایند تحریکی این استکه رفتار MEMS بر خلاف آینه‌های MEMS فعال الکترواستاتیکی، پسماند ایجاد نمی‌کند. این موضوع هدایت آن را بسیار ساده می‌کند. مصرف برق آینه‌های MEMS که به صورت مغناطیسی فعال می‌شوند می‌تواند تا حتی به اندازهٔ ۰٫۰۴ میلی وات، پایین باشد.