تفکیک زاویه ای

دومین فرایند اتلاف انرژی، قدرت توقف الکترون‌های نمونه، منجر به تلفات گسسته بزرگی مانند تلفات ناشی از برخوردهای هسته‌ای نمی‌شود. در عوض، اتلاف تدریجی انرژی وابسته به چگالی الکترون و مسافت طی شده در نمونه ایجاد می‌کند. این اتلاف انرژی انرژی اندازه‌گیری‌شده یون‌هایی را که از هسته‌های داخل نمونه به صورت پیوسته بسته به عمق هسته‌ها به عقب پراکنده می‌شوند، کاهش می‌دهد. نتیجه این است که به جای قله‌های تیز پراکنده پشتی که در نمودار N(E) انتظار می‌رود، با عرض تعیین شده توسط انرژی و تفکیک زاویه ای، قله‌های مشاهده شده به تدریج به سمت انرژی پایین‌تر حرکت می‌کنند زیرا یون‌ها از عمق اشغال شده توسط آن عبور می‌کنند. عنصر عناصری که فقط در عمقی در داخل نمونه ظاهر می‌شوند، موقعیت‌های اوج خود را نیز به میزانی تغییر می‌دهند که نشان‌دهنده فاصله‌ای است که یک یون برای رسیدن به آن هسته‌ها باید طی کند.